Etch uskunasining gaz tizimi

Aşınma bosqichi reaksiya jarayonida texnologik vosita sifatida ham tanilgan turli xil gazlarni ishlatishni talab qiladi. Oshlama uskunasining gaz tizimi texnologik muhitni gaz manbasidan reaksiya kamerasining ichki qismiga tashish uchun javobgardir, u asosan gaz qutisi (Gasbox), gomogenlashtiruvchi plastinka (Gaspanel), oqim o'lchagichdan iborat. (MFC) va quvur liniyasi.

Gaz qutisining vazifasi gazli texnologik muhitning bosimini turli xil nazorat klapanlari orqali gaz manbasidan (maxsus gaz tsilindri yoki gofret fab gaz quvuri) sozlash va keyin uni gaz yo'li quvuriga kiritishdir. qirqish uskunalari. Integral mikrosxemalar ishlab chiqarishda ishlatiladigan gazlarning aksariyati xavfli bo'lganligi sababli, xavfsizlikni ta'minlash uchun gaz sxemasi qutisi shkafi odatda korroziyaga qarshi qoplama bilan qoplangan va tashqi kuzatuv oynasi o'rnatiladi va ichki qismi ham salbiy bosim holatida. Bundan tashqari, gaz qutisi turli xil monitoring tizimlari bilan jihozlangan bo'lib, ular gaz qochqinlari aniqlangandan so'ng darhol gaz etkazib berishni va signallarni to'xtatadi. Gaspanel gaz tizimining asosiy tarkibiy qismlaridan biri bo'lib, u ham ishlov berish qiyin bo'lgan yarimo'tkazgichli metall qismdir. Gomogenlashtiruvchi disk odatda to'rtta qatlamli metall disklardan iborat bo'lib, ularning har birida ko'plab kichik teshiklar va murakkab va kichik havo yo'llari mavjud. Oshlama gazi gaz yo'li qutisi tomonidan sozlangandan so'ng, u quvur liniyasiga kiradi va keyin homogenlashtiruvchi patnisdan o'tadi va nihoyat barqaror va bir xil tezlikda reaktsiya kamerasiga o'tkaziladi. Gomogenlashtiruvchi disk yuqori haroratga chidamlilik, past zarrachalar ifloslanishi va korroziyaga chidamlilik xususiyatlariga ega bo'lishi kerak va ichki qochqinning oldini olish uchun ko'p qatlamli metall disklar o'rtasida payvandlash uchun maxsus usullardan foydalanish kerak. Gomogenlash diskining asosiy havo qabul qilish bosqichi bilan bog'liqligi sababli, ba'zi uskunalar kompaniyalari homogenlashtiruvchi disklarni ishlab chiqish va ishlab chiqarish uchun nozik metallni qayta ishlash korxonalari bilan hamkorlik qilishni tanlashadi; Bundan tashqari, Yaponiyadagi Fujikin klapanlari ham muhim yagona disk ishlab chiqaruvchilari hisoblanadi.

Etching uskunasi gazlarning reaksiya kamerasiga kirish tezligini kuzatish va nazorat qilish uchun massa oqim o'lchagichdan (MFC) foydalanadi. Havo qabul qilish tezligi etching reaktsiyasining barqarorligi bilan bog'liq bo'lganligi sababli, ishlov berish uskunasi oqim diapazoni, nazorat aniqligi va massa oqimi o'lchagichning oqim barqarorligi javob vaqti uchun yuqori talablarga ega. Oqim o'lchagichlarni analog sxema turiga, raqamli elektron turiga va bosim o'zgarishini qoplash turiga bo'lish mumkin. Bosim o'zgarishi kompensatsion oqim o'lchagichi reaktsiya kamerasiga gaz chiqishining barqaror oqimini ta'minlash uchun gaz manbai bosimining o'zgarishini avtomatik ravishda qoplashi mumkin. Ommaviy oqim o'lchagichlarning asosiy ishlab chiqaruvchisi - Yaponiyadagi Horiba.