PECVD dush boshlig'i nima qiladi?

0020-30797 Teshikli dush boshi

0021-35869 DUSH SOSLIGI

 

Dush boshi PECVD jarayonida nima qiladi?

Yuqoridagi rasmda ko'rsatilganidek, purkagich boshi, dush boshi va hokazo deb tarjima qilingan Dush boshi odatda reaksiya zonasining yuqori qismiga mahkam joylashadi va gaz kirish joyi vazifasini bajaradi, reaksiya gazini kichik teshiklar orqali kameraga teng ravishda yuboradi. uning yuzasida. Albatta, bu nafaqat gaz taqsimlash funktsiyasi, ba'zilari elektrodning bir qismi sifatida foydalanish uchun mo'ljallangan.
Funktsiyasi Dush boshi?

Dush boshining yuzasi zich teshiklar bilan qoplangan va reaktsiya gazi ichkariga kirgandan so'ng, u bir necha qismlarga teng ravishda bo'linadi va doimiy oqim tezligida gofretning yuqori qismiga o'tkaziladi, shunda reaksiya gazi butun sirtni teng ravishda qoplaydi. gofret yuzasi yanada bir xil qoplama ishlab chiqarish uchun. Dush boshi elektrodning bir qismi bo'lsa, RF quvvat manbai uning yuzasida bir hil plazma hosil qila oladigan yagona elektr maydonini hosil qiladi.

Dush boshini tayyorlash uchun odatda qanday metall ishlatiladi?

Eng keng tarqalgan alyuminiy bo'lib, u yuqori issiqlik o'tkazuvchanligiga va korroziyaga chidamliligiga ega. Dush boshini tayyorlash uchun kvarts yoki keramika ham ishlatilishi mumkin.