Etch nima?

Yarimo'tkazgichni qirqish texnologiyasi, nomidan ko'rinib turibdiki, o'ziga xos naqsh yoki tuzilmalarni yaratish uchun yarimo'tkazgich yuzasidan materiallarni tanlab olish jarayonidir. Bu yarimo'tkazgichli qurilmalar, jumladan mikroprotsessorlar, xotira qurilmalari va sensorlar va boshqalarni ishlab chiqarishda hal qiluvchi jarayondir.

Oshlama jarayoni material yuzasining muayyan joylarini olib tashlash uchun kimyoviy moddalar yoki plazmadan foydalanishni o'z ichiga oladi. Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda u kremniy gofretlari yoki boshqa substratlar yuzasida aniq xususiyatlarni yaratish uchun ishlatiladi. Jarayonni ikki toifaga bo'lish mumkin: nam va quruq qirqish.

Nam qirqish

Nam qirqish - bu material sirtining keraksiz joylarini eritib yuborish uchun yarimo'tkazgich materialini kimyoviy eritmaga botirishni o'z ichiga olgan qirqish usuli. Kimyoviy moddalar odatda kislotali, asosli yoki oksidlovchi moddadir, u material bilan reaksiyaga kirishadi. Nam qirqish - bu yarimo'tkazgichli substrat yuzasida yuqori sifatli, bir xil naqshlarni yaratish uchun ishlatilishi mumkin bo'lgan oddiy, arzon jarayon.

Shu bilan birga, u ba'zi cheklovlarga ega, masalan, aşındırma eritmasini materialning xususiyatlariga moslashtirish talabi va qirqish yo'nalishini boshqarishdagi qiyinchiliklar.

Quruq qirqish

Quruq qirqish - bu sirtdan materialni olib tashlash uchun plazmadan foydalanadigan yanada aniq va murakkab ohak usuli. Bu jarayon yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda ho'l bo'yashdan ko'ra ko'proq qo'llaniladi, chunki uning yanada aniq va bir xil naqshlarni yaratish qobiliyati.

Quruq ishlov berish jarayonida ishlatiladigan plazma reaktiv gaz yoki kislorod, xlor yoki ftor kabi gazlar aralashmasi bo'lishi mumkin, ular ionlanadi va keyin atomlarni sirtdan urib tashlash orqali material bilan reaksiyaga kirishadi.

Quruq qirqish texnikasi naqshning yo'nalishi va chuqurligini ko'proq nazorat qilishni ta'minlaydi, bu esa yanada murakkab va murakkab naqshlarni shakllantirishga imkon beradi. Shuningdek, u yuqori tomonlar nisbatiga erisha oladi, ya'ni chizilgan xususiyat chuqurligining uning kengligiga nisbati.

Xulosa qilib aytadigan bo'lsak, yarimo'tkazgichli ishlov berish texnologiyasi yarimo'tkazgichli qurilmalarni ishlab chiqarishda muhim rol o'ynaydi. Yarimo'tkazgichli tagliklar yuzasida aniq naqshlarni yaratish uchun ho'l va quruq qirqish texnikasi qo'llaniladi, quruq qirqish yuqori aniqligi va murakkab tuzilmalarni yaratish qobiliyati tufayli kengroq qo'llaniladi.