Shiftni buzing! Trench SiC MOSFET chiplarining asosiy texnologiyasida yangi yutuq

"Buzing"Ceiling"! ANewBichida reakthroughKeyTtexnologiyasiTrench SiC MOSFETCdumba

4 yillik mustaqil tadqiqot va ishlanmalardan so'ng, Milliy uchinchi avlod yarimo'tkazgich texnologiyasi innovatsion markazi (Nankin) xandaq kremniy karbid MOSFET chipini ishlab chiqarishning asosiy texnologiyasini muvaffaqiyatli hal qildi va planar silikon karbid MOSFET chipining ishlashining "shipini" buzdi.

Bu Xitoyning ushbu sohadagi birinchi yutug‘idir

Milliy uchinchi avlod yarimo'tkazgich texnologiyasi innovatsiya markazi (Nankin). Manba: Jiangning nashri.

Silikon karbid - uchinchi avlod yarimo'tkazgich materiallarining vakili bo'lib, keng tarmoqli oralig'i, yuqori tanqidiy parchalanish elektr maydoni, yuqori elektron to'yinganlik migratsiya tezligi va yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi kabi ajoyib xususiyatlarga ega.

Hozirgi vaqtda sanoatda qo'llanilishi asosan planar silikon karbid MOSFET chiplari hisoblanadi. Xandaq eshigi konstruktsiyasining dizayni planar darvoza strukturasiga nisbatan aniq ishlash afzalliklariga ega, bu esa kamroq o'tkazuvchanlik yo'qotilishiga, yaxshi kommutatsiya ishlashiga va yuqori gofret zichligiga erishishi mumkin, shu bilan chiplardan foydalanish narxini sezilarli darajada kamaytiradi.

"Hammasi jarayonga bog'liq."

Milliy uchinchi avlod yarimo'tkazgich texnologiyasi innovatsiya markazining texnik direktori Xuang Runxua (Nankin), silikon karbid materiallarining qattiqligi juda yuqori ekanligini va samolyotni xandaqqa o'zgartirish, bu erda "teshik qazish" kerakligini anglatadi. materialdir va uni "chuqurlarga qazish" mumkin emas.

Tayyorgarlik jarayonida silliqlashning aniqligi, silliqlashning shikastlanishi va silliqlash jarayonining sirt qoldiqlari silikon karbid qurilmalarini ishlab chiqish va ishlashiga halokatli ta'sir ko'rsatadi.

Milliy uchinchi avlod yarimo'tkazgich texnologiyasi innovatsiya markazi (Nankin) platformasida tadqiqotchilar uchinchi avlod yarimo'tkazgich-kremniy karbid chiplari ishlab chiqarish liniyasida mahsulotlarni sinovdan o'tkazmoqda. Manba: Nanjing Daily/Purple Mountain News muxbiri Sun Zhongyuan.

Shu munosabat bilan, Milliy uchinchi avlod yarimo'tkazgich texnologiyasi innovatsiya markazi (Nankin) 4 yil davomida jamoa bilan hamkorlik qilish uchun asosiy Ar-ge guruhini va butun chiziqni tashkil etdi, doimiy ravishda yangi jarayonlarni sinab ko'rdi va nihoyat yangi jarayon oqimini o'rnatdi, qiyinchiliklarni engib o'tdi. "kovaklar qazish", barqarorlik va aniqlik va xandaq kremniy karbid MOSFET chiplarini muvaffaqiyatli ishlab chiqarish.Planar turi bilan solishtirganda, o'tkazuvchanlik ko'rsatkichlari a tomonidan yaxshilanaditaxminan 30%.

 

Ayni paytda markazda xandaq kremniy karbidli MOSFET chip mahsulotlari ishlab chiqilmoqda va xandaq kremniy karbidli quvvat qurilmalari ishga tushirilmoqda. U bir yil ichida yangi energiya vositalarining elektr haydovchisi, aqlli tarmoq va fotovoltaik energiyani saqlash sohalarida qo'llanilishi kutilmoqda. Odamlarning hayotiga qanday ta'sir qiladi?

Huang Runhua yangi energiya vositalarini misol qilib, silikon karbidli quvvat qurilmalarining o'zlari silikon qurilmalar bilan solishtirganda quvvatni tejovchi afzalliklarga ega ekanligini tanishtirdi, bu esa chidamlilikni taxminan 5% ga oshirishi mumkin; Xandaq tuzilishini qo'llash kamroq qarshilikka ega dizaynni yaratishga imkon beradi. Bir xil ishlash ko'rsatkichlari bilan yuqori zichlikdagi chip tartibini amalga oshirish mumkin, bu esa chipga egalik qilish xarajatlarini kamaytiradi.

Huang Runhua yangi energiya vositalarini misol qilib, silikon karbidli quvvat qurilmalarining o'zlari silikon qurilmalar bilan solishtirganda quvvatni tejovchi afzalliklarga ega ekanligini tanishtirdi, bu esa chidamlilikni taxminan 5% ga oshirishi mumkin; Xandaq tuzilishini qo'llash kamroq qarshilikka ega dizaynni yaratishga imkon beradi. Bir xil ishlash ko'rsatkichlari bilan yuqori zichlikdagi chip tartibini amalga oshirish mumkin, bu esa chipga egalik qilish xarajatlarini kamaytiradi.

Hozirgi vaqtda Milliy uchinchi avlod yarimo'tkazgich texnologiyasi innovatsiya markazi (Nankin) silikon karbidli super yig'ilgan qurilmalarni tadqiq qilishni boshladi. Ushbu tuzilmaning ishlashi yivli tuzilishga qaraganda yaxshiroq va kuchliroq va u hali ham ishlab chiqilmoqda ", dedi Huang Runxua

 

 

Kontent manbasi Nanjing Daily/Purple Mountain News muxbiri Chjan Anqi